產(chǎn)品中心
Product Center
產(chǎn)品特點：
X、Y平臺皆為標準款設(shè)計，組合性強，且標準平臺中標準模塊方便替換
優(yōu)化的線纜管理，有效減小拖鏈的拖拽力
重復(fù)定位精度±0.2μm，定位精度±0.5μm
適用于激光加工、3D打印、晶圓檢測等超高運動精度場景
平臺參數(shù)：
有效行程 | 上軸 | 100mm、200mm、300mm |
下軸 | 100mm、200mm、300mm、400mm、500mm | |
定位精度 | ±300nm | |
重復(fù)定位精度 | ±250nm | |
XY位置穩(wěn)定性 | ±20nm | |
最大載荷 | 150kg | |
額定有效載荷下最大速度 | 掃描/步進軸 | 2000mm/s |
額定有效載荷下的峰值加速度 | 掃描/步進軸 | 2g |
額定有效載荷下的持續(xù)加速度 | 掃描/步進軸 | 1g |
Pitch | 2 arc sec | |
Roll | 2 arc sec | |
Yaw | 2 arc sec | |
XY直線度 | 2μm | |
XY平面度 | 3μm | |
XY正交性 | <2 arc sec | |
平均無故障時間 | 20000h | |
備注：
測試高度距臺面25 毫米；
為了保護空氣軸承免受欠壓，建議在運動控制器/放大器輸入端連接一個在線壓力開關(guān)。
空氣供應(yīng)必須清潔，干燥至 0°F 露點，過濾至0.5μ m 或更好。
總線電壓最高：220VDC
限位開關(guān)電壓：5V
Diamond HH系列尺寸圖：
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