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復(fù)合式四軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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產(chǎn)品描述:

產(chǎn)品描述:

X軸、Y軸由花崗巖材料制作,工作狀態(tài)穩(wěn)定,大行程750mm,高剛度,高承載,直線度高達(dá)500nm/400mm。


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平臺(tái)參數(shù):

軸名稱X1X2θ
YZ
行程700mm700mm360°(NIKKI)500mm50mm
電子分辨率10nm10nm10nm10nm10nm
定位精度±1μm±1μm/±1μm±1μm
重復(fù)定位精度±0.5μm±0.5μm/±1μm±0.5μm
直線度±0.25μm@400mm±0.25μm@400mm/±1μm@500mm/
平面度<±1.5μm<±2μm/



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