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復(fù)合式四軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
X軸、Y軸由花崗巖材料制作，工作狀態(tài)穩(wěn)定，大行程750mm，高剛度，高承載，直線度高達(dá)500nm/400mm。
平臺(tái)參數(shù)：
| 軸名稱 | X1 | X2 | θ | Y | Z |
| 行程 | 700mm | 700mm | 360°（NIKKI） | 500mm | 50mm |
| 電子分辨率 | 10nm | 10nm | 10nm | 10nm | 10nm |
| 定位精度 | ±1μm | ±1μm | / | ±1μm | ±1μm |
| 重復(fù)定位精度 | ±0.5μm | ±0.5μm | / | ±1μm | ±0.5μm |
| 直線度 | ±0.25μm@400mm | ±0.25μm@400mm | / | ±1μm@500mm | / |
| 平面度 | ＜±1.5μm | ＜±2μm | / | ||
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