產品中心
Product Center
技術參數(shù)：
| 型號 | ACT-300 | ACT-340 | |
| 臺面直徑 | 300mm | 340mm | |
高度 | 高度可按照客戶要求設計 | 高度可按照客戶要求設計 | |
中孔尺寸 | 無 | 無 | |
最高轉速 | 600rpm/min | 600rpm/min | |
負載 | 軸向 | 3000N | 6000N |
| 徑向 | 1000N | 2000N | |
軸向誤差運動(同步/異步) A | ≤100nm | ||
| 徑向誤差運動(同步/異步) | ≤200nm | ||
傾擺誤差運動 (同步/異步) | <2urad | ||
供氣壓力 | 0.55-0.6Mpa | ||
| 耗氣量 | 25L/min | ||
| 質量 | 38kg | 75kg | |
| 轉臺剛度 | ≥200N/um | ≥350N/um | |
*所有外形尺寸均可依客戶要求非標定制
產品特點
·高精度氣浮軸承
采用超精密靜壓氣浮技術，輔以雙向靜壓預載技術，微孔節(jié)流技術和特殊均壓方法，具備優(yōu)秀的承載性能和可靠性。
·高性能電控系統(tǒng)
采用高性能力矩電機，以直驅方式消除傳動損失和齒槽效應并增加控制精度，與高精度控制系統(tǒng)和算法集成從而獲得亞微米甚至納米級別的運動精度。
·高穩(wěn)定貨期
完全自主設計，采用自有超精密加工技術，以及完全可控的生產裝配能力，檢測能力，保證了轉臺的穩(wěn)定交貨期。
·適用場景
產品具有軸向徑向高負載高剛度等特點，特別適合晶圓減薄、光學檢測以及相關半導體行業(yè)的使用。同時，為電機增加的水冷裝置，可以保證轉臺600rpm/min max的轉速，連續(xù)工作，轉臺溫度變化值0.1°C。
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