產(chǎn)品中心
Product Center
ACT系列精密氣浮主軸
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
ACT系列精密氣浮主軸采用超精密氣浮技術(shù)和高精度機(jī)電控集成技術(shù)，可提供穩(wěn)定的高速回轉(zhuǎn)運(yùn)動以及優(yōu)異的回轉(zhuǎn)精度，并兼有在軸向和徑向高負(fù)載高剛度的特點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | ACTS8 | ACTS12 | |
| 使用氣源壓力 | >0.5Mpa | >0.5Mpa | |
耗氣量 | 25L/min | 35L/min | |
最高轉(zhuǎn)速 | 4000rpm | 4000rpm | |
最大軸向承載能力(在0.55Mpa下測試) | ≥1500N | ≥3000N | |
最大徑向承載能力(在0.55Mpa下測試) | ≥800N | ≥1300N | |
軸向剛度(在0.55Mpa下測試) | ≥200N/um | ≥350N/um | |
| 軸向跳動 | ≤100nm | ≤100nm | |
徑向跳動 | ≤200nm | ≤200nm | |
空載動態(tài)軸向偏擺精度(在0.55Mpa下測試) | ＜10urad(主軸誤差分析儀測試） | ＜10urad(主軸誤差分析儀測試） | |
*所有外形尺寸均可依客戶要求非標(biāo)定制
產(chǎn)品特點(diǎn)
·高精度氣浮軸承
采用超精密靜壓氣浮技術(shù)，輔以雙向靜壓預(yù)載技術(shù)，微孔節(jié)流技術(shù)和特殊均壓方法，具備優(yōu)秀的承載性能和可靠性。
·高性能電控系統(tǒng)
采用高性能永磁電機(jī)，以直驅(qū)方式消除傳動損失和齒槽效應(yīng)并增加控制精度，與高精度控制系統(tǒng)和算法集成從而獲得亞微米甚至納米級別的運(yùn)動精度。
·高穩(wěn)定貨期
完全自主設(shè)計(jì)，采用自有超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力，檢測能力，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定交貨期。
·適用場景
該主軸具有軸向徑向高負(fù)載高剛度等特點(diǎn)，特別適合晶圓 (藍(lán)寶石、紅寶石、碳化硅等) 減薄、光學(xué)檢測以及相關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)的使用。同時(shí)，為電機(jī)增加的水冷裝置，可以保證主軸4000rpm/min max的轉(zhuǎn)速，連續(xù)工作，主軸溫度變化值0.Co
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