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粗糙度輪廓儀
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粗糙度輪廓儀

汽缸蓋-閥門表面粗糙度、閥門角度滾柱軸承-表面粗糙,形狀誤差和DXF對比;
齒輪-表面粗糙度,齒根半徑和形狀偏差;
曲軸-表面粗糙度,倒角半徑和DXF對比;
滾珠絲杠-教具、角度、形狀和直線尺寸;

應用參數(shù):
1mm垂直量程/16nm分辨率
200mm水平行程
0.5um/120mm水平直線度誤差
0.125um水平數(shù)據(jù)采樣間隔

激光干涉儀 雷尼紹XL-80
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激光干涉儀 雷尼紹XL-80

XL80激光干涉儀主要檢測功能:
1、激光干涉儀可以完成數(shù)控機床三軸的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量和補償。
2、通過增加相應的測量鏡組,可以完成數(shù)控機床三軸的水平和垂直方向的偏擺和俯仰角度測量,還可完成平面度、直線度、 垂直度、Pitch、Yaw的測量。增加回轉軸組件RX10,可實現(xiàn)旋轉軸(A,B,C軸)的分度精度測量和補償。

主軸回轉誤差分析儀
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主軸回轉誤差分析儀

主軸誤差分析儀(SEA)根據(jù)ANSI / ASME,ISO和JIS標準來測量和分析主軸誤差運動(動態(tài)和熱), 這些誤差運動會在制造的工件中產(chǎn)生形狀誤差。 該分析技術在主軸性能是關鍵因素的非機床應用中很有用。
主軸分析儀可檢測各類型主軸,轉臺的軸向,徑向,偏擺精度。

圓度儀
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圓度儀

圓度圓柱度產(chǎn)品可檢測:
最大測量重量: 75kg
最大測量高度:500mm
最大測量直徑:? 320 mm
最小測量直徑: ? 4 mm
徑向極限誤差:+/- (0.015 μm + 0.0003 x H μm) (H為工作臺上方的高度。單位mm)
最高分辨率:0.5nm
數(shù)據(jù)點數(shù)(可選擇):最多 18,000 個

蔡司三坐標
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蔡司三坐標

廣泛適用于各類型工件的測量,其獨到的蔡司固定臺面CARAT材質橋式結構,高穩(wěn)定低運動重心設計,高精度掃描測頭系統(tǒng)及眾多技術優(yōu)勢,確保了系統(tǒng)的精度及動態(tài)性能。可檢測各類型產(chǎn)品的形位公差及外形尺寸。
應用參數(shù):
精度0.5微米,工件重量 (kg) 100
最大掃描速度:350 mm/s
最大空間運動速度:350 mm/s
最大空間運動速度:520 mm/s
最大空間運動加速度:670mm/s2
最大量程:1000mm*700mm*500mm
長度測量誤差MPE-E0/E150(ISO10360-2:2009)(mm)0.5 + L/500

光學3D表面輪廓儀
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光學3D表面輪廓儀

適用于各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
應用參數(shù):
最大尺寸(HWD):89 x 203 x 203mm
反射率:0.05%-100%
縱向掃描范圍:150 um
縱向分辨率:<0.08nm
橫向分辨率:0.34-16.42um 與所選物鏡有關
掃描速度: ≥150 um/sec,與所選的CCD和掃描模式有關
RMS重復性:<0.008nm, RMSσ
臺階測量:準確度 ≤ 0.8%;重復性≤0.1%

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超精密加工

超精密檢測

Ultra precision testing

  • 形狀精度檢測

    形狀精度檢測

  • 表面形貌和粗糙度測量

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  • 精密機床/測量機標定服務

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  • 精密主軸動平衡精度檢測和故障診斷

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形狀精度檢測

測量各類工件圓度、圓柱度、直線度、平行度、平面度、同軸度、偏心度、徑向軸向跳動、垂直度等幾何參數(shù)。

表面形貌和粗糙度測量

測量各類材料表面輪廓、動態(tài)MEMS設備、薄膜分析應用、測量次納米表面形貌、機械加工(納米級精度零件)。 可測量平面度、粗糙度、波紋度、階梯差等。

精密機床/測量機標定服務

測量和標定超精密機床和三坐標測量機的精度。

精密主軸動平衡精度檢測和故障診斷

檢測主軸的精度、熱膨脹、圓度等; 可以進行數(shù)據(jù)采集、頻譜分析等,為用戶準確判斷設備是否為平衡。

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