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Diamond HW高剛度氣浮軸寬體系列
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
Diamond HW 是 Diamond H 系列空氣軸承平臺的寬體版本。 更寬的底座使 Diamond HW 非常適合具有大偏移負載的應(yīng)用，并且非常適合作為大行程 XY 平臺系統(tǒng)中的下軸。 Diamond HW 采用雙直線電機，有效地將標準Diamond H 平臺的力輸出加倍。
產(chǎn)品特點：
底座加寬設(shè)計，增加中間氣浮導軌，擁有更高的承載能力
承載面可安裝Diamond H型平臺，組合為長行程XY平臺
重復定位精度±0.3μm，定位精度±0.5μm
適用于激光加工、3D打印、晶圓檢測等超高運動精度場景
平臺參數(shù)：
平臺型號 | Diamond HW (高剛度寬體系列) | ||||
有效行程 | mm | 200 | 300 | 400 | 500 |
定位精度 | μm | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
重復定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
直線度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
平面度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
平臺重量 | kg | 40 | 45 | 51 | 55.5 |
最大負載 | kg | 35~120 | |||
分辨率 | nm | 1 | |||
最大速度 | mm/s | 2000 | |||
最大加速度 | g | 2 | |||
工作氣壓 | MPa | 0.55±0.05 | |||
平臺材質(zhì) | 鋁合金/花崗巖/陶瓷 | ||||
平均無故障時間 | h | 30000 | |||
備注：
測試高度距臺面25 毫米；
為了保護空氣軸承免受欠壓，建議在運動控制器/放大器輸入端連接一個在線壓力開關(guān)。
空氣供應(yīng)必須清潔，干燥至 0°F 露點，過濾至0.5μ m 或更好。
XY疊加使用上軸行程不大于400mm
總線電壓最高：220VDC
限位開關(guān)電壓：5V
Diamond HW500系列尺寸圖：
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