產(chǎn)品中心
Product Center
Diamond H高剛度氣浮軸系列
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
集萃精凱采用獨(dú)有的空氣節(jié)流技術(shù)，實現(xiàn)了高壓供氣氣錘振動和微觀波動的抑制，所研發(fā)的高剛度高承載氣浮導(dǎo)軌系列特別適用于激光加工、3D打印等需要超高運(yùn)動精度的場景。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
獨(dú)有的空氣節(jié)流技術(shù)，抑制高壓供氣氣錘振動和微觀波動
非接觸性，零摩擦
全閉式氣浮導(dǎo)軌，具有極高的剛度和出色的幾何特性
優(yōu)異的承載能力，高達(dá)200KG
分辨率1nm，重復(fù)定位精度±0.1μm，定位精度±0.3μm
行程最長可達(dá)500mm
適用于激光加工、3D打印、晶圓檢測等超高運(yùn)動精度場景
平臺參數(shù)：
平臺型號 | Diamond H (高剛度系列) | |||||
有效行程 | mm | 50 | 100 | 200 | 300 | 500 |
定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.4 |
重復(fù)定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±1 | ±1 | ±2 | ±2 | ±2 |
直線度 | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 |
平面度 | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 |
平臺重量 | kg | 19.5 | 20.5 | 23 | 24 | 30 |
最大負(fù)載 | kg | 35~100 | ||||
分辨率 | nm | 1 | ||||
最大速度 | mm/s | 2000 | ||||
最大加速度 | g | 2 | ||||
工作氣壓 | Mpa | 0.55±0.05 | ||||
平臺材質(zhì) | 鋁合金/花崗巖/陶瓷 | |||||
平均無故障時間 | h | 30000 | ||||
備注：
測試高度距臺面25 毫米；
為了保護(hù)空氣軸承免受欠壓，建議在運(yùn)動控制器/放大器輸入端連接一個在線壓力開關(guān)。
空氣供應(yīng)必須清潔，干燥至 0°F 露點(diǎn)，過濾至0.5μ m 或更好。
對于 XY 配置，最大上軸行程為 200mm。對于上軸行程大于 200mm 但等于或小于 500mm，則需要Diamond-HW 作為下軸。
總線電壓最高：220VDC
限位開關(guān)電壓：5V
Diamond H200系列尺寸圖：
相關(guān)標(biāo)簽：
上一篇：沒有了
下一篇：Diamond HW高剛度氣浮軸寬體系列
下一篇：Diamond HW高剛度氣浮軸寬體系列
首頁
主營產(chǎn)品
電話咨詢
留言
