產(chǎn)品中心
Product Center
Diamond HZ高剛度豎直軸系列
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
適用于高端制造業(yè)，尤其是半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)所需的定位精度超出傳統(tǒng)滾珠絲杠和機(jī)械軸承所能實(shí)現(xiàn)的定位公差。 HZ系列具有閉式氣浮結(jié)構(gòu)、極高的剛度和出色的幾何特性，專為滿足這些需求而設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
該產(chǎn)品專為高性能掃描和檢測而設(shè)計(jì)
采用全閉式氣浮結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)異的剛度特性
全閉式氣浮結(jié)構(gòu)
無摩擦氣缸平衡
亞微米級定位精度
高精度光柵尺閉環(huán)反饋
密封防塵設(shè)計(jì)
適用于半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲等高端制造業(yè)，精度遠(yuǎn)超傳統(tǒng)滾珠絲杠和機(jī)械軸承的最高水平
HZ系列具有閉式氣浮結(jié)構(gòu)、極高的剛度和出色的幾何特性，專為滿足高精度性能而設(shè)計(jì)
平臺參數(shù)：
平臺型號 | Diamond HZ （高剛度z軸系列） | ||||
有效行程 | mm | 50 | 100 | 150 | 200 |
定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.5 |
重復(fù)定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.35 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±2 | ±2.5 |
直線度 | μm | ±0.4 | ±0.6 | ±0.8 | ±1 |
平面度 | μm | ±0.4 | ±0.6 | ±0.8 | ±1 |
最大負(fù)載 | kg | 30 | |||
分辨率 | nm | 1 | |||
最大速度 | mm/s | 300 | |||
最大加速度 | g | 2 | |||
工作氣壓 | MPa | 0.55±0.05 | |||
平臺材質(zhì) | 鋁合金 | ||||
平均無故障時(shí)間 | h | 20000 | |||
備注：
測試高度距臺面25 毫米；
為了保護(hù)空氣軸承免受欠壓，建議在運(yùn)動控制器/放大器輸入端連接一個(gè)在線壓力開關(guān)。
空氣供應(yīng)必須清潔，干燥至 0°F 露點(diǎn)，過濾至0.5μ m 或更好。
總線電壓最高：220VDC
限位開關(guān)電壓：5V
尺寸圖
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