產(chǎn)品中心
Product Center
產(chǎn)品特點(diǎn)：
高精度Z向直驅(qū)平臺(tái)
高精度光柵反饋
四面高剛度氣浮軸承設(shè)計(jì)
無(wú)摩擦氣缸配重
任意多軸組合選項(xiàng)（XZ、XYZ）
分辨率1nm，重復(fù)定位精度±100nm，定位精度200nm
*5mm行程系列采用音圈直接驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)頻率大于30Hz
平臺(tái)參數(shù)：
平臺(tái)型號(hào) | Diamond AZ （氣浮平升系列） | |||
有效行程 | mm | 5 | 20 | 30 |
定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.75 |
重復(fù)定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 |
Yaw/Roll | arc sec | 10/10 | 20/20 | 30/30 |
直線度 | μm | ±0.5μm | ±1μm | ±1.5μm |
平臺(tái)重量 | kg | 7 | 16 | 28 |
最大負(fù)載 | kg | 3 | 15 | 25 |
分辨率 | nm | 1 | ||
最大速度 | mm/s | 75 | ||
最大加速度 | g | 1 | ||
工作氣壓 | Mpa | 0.55±0.05 | ||
平臺(tái)材質(zhì) | 鋁合金 | |||
平均無(wú)故障時(shí)間 | h | 30000 | ||
備注：
測(cè)試高度距臺(tái)面25 毫米；
為了保護(hù)空氣軸承免受欠壓，建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器輸入端連接一個(gè)在線壓力開關(guān)。
空氣供應(yīng)必須清潔，干燥至 0°F 露點(diǎn)，過(guò)濾至0.5μ m 或更好。
總線電壓最高：220VDC
限位開關(guān)電壓：5V
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