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Diamond AZ氣浮平升軸系列

Diamond AZ氣浮平升軸系列

產(chǎn)品描述:

全國(guó)熱線:

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產(chǎn)品特點(diǎn):

高精度Z向直驅(qū)平臺(tái)

高精度光柵反饋

四面高剛度氣浮軸承設(shè)計(jì)

無(wú)摩擦氣缸配重

任意多軸組合選項(xiàng)(XZ、XYZ)

分辨率1nm,重復(fù)定位精度±100nm,定位精度200nm

*5mm行程系列采用音圈直接驅(qū)動(dòng),響應(yīng)頻率大于30Hz


平臺(tái)參數(shù):

平臺(tái)型號(hào)

Diamond AZ (氣浮平升系列)

有效行程

mm

5

20

30

定位精度

μm

±0.3

±0.5

±0.75

重復(fù)定位精度

μm

±0.2

±0.2

±0.3

Yaw/Roll

arc sec

10/10 

20/20

30/30

直線度

μm

±0.5μm

±1μm

±1.5μm

平臺(tái)重量

kg

7

16

28

最大負(fù)載

kg

3

15

25

分辨率

nm

1

最大速度

mm/s

75

最大加速度

g

1

工作氣壓

Mpa

0.55±0.05

平臺(tái)材質(zhì)


鋁合金

平均無(wú)故障時(shí)間

h

30000

備注:

測(cè)試高度距臺(tái)面25 毫米;

為了保護(hù)空氣軸承免受欠壓,建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器輸入端連接一個(gè)在線壓力開關(guān)。

空氣供應(yīng)必須清潔,干燥至 0°F 露點(diǎn),過(guò)濾至0.5μ m 或更好。

總線電壓最高:220VDC

限位開關(guān)電壓:5V


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