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龍門(mén)氣浮平臺(tái)
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
集萃精凱采用獨(dú)有的空氣節(jié)流技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高壓供氣氣錘振動(dòng)和微觀(guān)波動(dòng)的抑制，研發(fā)的超高運(yùn)動(dòng)精度氣浮龍門(mén)系列特別適用于激光加工、3D打印、半導(dǎo)體、光刻等場(chǎng)景。
技術(shù)參數(shù)：
行程 | mm | 200 | 350 | 500 | 750 | 1000 |
定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 |
重復(fù)精度 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.4 |
直線(xiàn)度 | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.8 | ±1 |
平面度 | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.7 | ±0.9 |
最大加速度 | g | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
最大速度 | mm/s | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
材料 | 航空鋁合金/花崗巖/碳化硅陶瓷 | |||||
移動(dòng)質(zhì)量 | Kg | 8 | ||||
工作壓力 | MPa | 0.5-1 | ||||
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