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太倉ACT系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺

太倉ACT系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)品描述:

產(chǎn)品描述:

轉(zhuǎn)臺采用超精密氣浮技術(shù)和高精度機(jī)電控集成技術(shù),可提供穩(wěn)定的高速回轉(zhuǎn)運(yùn)動以及優(yōu)異的回轉(zhuǎn)精度,并兼有在軸向和徑向高負(fù)載高剛度的特點(diǎn)。

全國熱線:

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產(chǎn)品手冊 在線咨詢

技術(shù)參數(shù):


型號
ACT-300ACT-340
臺面直徑300mm340mm

高度

高度可按照客戶要求設(shè)計

高度可按照客戶要求設(shè)計

中孔尺寸

最高轉(zhuǎn)速

600rpm/min

600rpm/min

負(fù)載

軸向

3000N

6000N
徑向

1000N

2000N

軸向誤差運(yùn)動(同步/異步) A

≤100nm

徑向誤差運(yùn)動(同步/異步)

≤200nm

傾擺誤差運(yùn)動 (同步/異步)

<2urad

供氣壓力

0.55-0.6Mpa

耗氣量25L/min
質(zhì)量38kg75kg
轉(zhuǎn)臺剛度≥200N/um≥350N/um

*所有外形尺寸均可依客戶要求非標(biāo)定制


產(chǎn)品特點(diǎn)

·高精度氣浮軸承

采用超精密靜壓氣浮技術(shù),輔以雙向靜壓預(yù)載技術(shù),微孔節(jié)流技術(shù)和特殊均壓方法,具備優(yōu)秀的承載性能和可靠性。

·高性能電控系統(tǒng)

采用高性能力矩電機(jī),以直驅(qū)方式消除傳動損失和齒槽效應(yīng)并增加控制精度,與高精度控制系統(tǒng)和算法集成從而獲得亞微米甚至納米級別的運(yùn)動精度。

·高穩(wěn)定貨期

完全自主設(shè)計,采用自有超精密加工技術(shù),以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力,檢測能力,保證了轉(zhuǎn)臺的穩(wěn)定交貨期。

·適用場景

產(chǎn)品具有軸向徑向高負(fù)載高剛度等特點(diǎn),特別適合晶圓減薄、光學(xué)檢測以及相關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)的使用。同時,為電機(jī)增加的水冷裝置,可以保證轉(zhuǎn)臺600rpm/min max的轉(zhuǎn)速,連續(xù)工作,轉(zhuǎn)臺溫度變化值0.1°C。


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