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上海ACT系列精密氣浮主軸

產(chǎn)品描述：

ACT系列精密氣浮主軸采用超精密氣浮技術(shù)和高精度機(jī)電控集成技術(shù)，可提供穩(wěn)定的高速回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以及優(yōu)異的回轉(zhuǎn)精度，并兼有在軸向和徑向高負(fù)載高剛度的特點(diǎn)。

全國(guó)熱線(xiàn)：

4000828890

產(chǎn)品手冊(cè) 在線(xiàn)咨詢(xún)

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	ACTS8	ACTS12
使用氣源壓力	>0.5Mpa	>0.5Mpa
耗氣量	25L/min	35L/min
最高轉(zhuǎn)速	4000rpm	4000rpm
最大軸向承載能力(在0.55Mpa下測(cè)試)	≥1500N	≥3000N
最大徑向承載能力(在0.55Mpa下測(cè)試)	≥800N	≥1300N
軸向剛度(在0.55Mpa下測(cè)試)	≥200N/um	≥350N/um
軸向跳動(dòng)	≤100nm	≤100nm
徑向跳動(dòng)	≤200nm	≤200nm
空載動(dòng)態(tài)軸向偏擺精度(在0.55Mpa下測(cè)試)	＜10urad(主軸誤差分析儀測(cè)試）	＜10urad(主軸誤差分析儀測(cè)試）

*所有外形尺寸均可依客戶(hù)要求非標(biāo)定制

產(chǎn)品特點(diǎn)

·高精度氣浮軸承

采用超精密靜壓氣浮技術(shù)，輔以雙向靜壓預(yù)載技術(shù)，微孔節(jié)流技術(shù)和特殊均壓方法，具備優(yōu)秀的承載性能和可靠性。

·高性能電控系統(tǒng)

采用高性能永磁電機(jī)，以直驅(qū)方式消除傳動(dòng)損失和齒槽效應(yīng)并增加控制精度，與高精度控制系統(tǒng)和算法集成從而獲得亞微米甚至納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)精度。

·高穩(wěn)定貨期

完全自主設(shè)計(jì)，采用自有超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力，檢測(cè)能力，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定交貨期。

·適用場(chǎng)景

該主軸具有軸向徑向高負(fù)載高剛度等特點(diǎn)，特別適合晶圓 (藍(lán)寶石、紅寶石、碳化硅等) 減薄、光學(xué)檢測(cè)以及相關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)的使用。同時(shí)，為電機(jī)增加的水冷裝置，可以保證主軸4000rpm/min max的轉(zhuǎn)速，連續(xù)工作，主軸溫度變化值0.Co

尺寸圖.jpg