產(chǎn)品中心
Product Center
昆山ACT系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
轉(zhuǎn)臺采用超精密氣浮技術(shù)和高精度機(jī)電控集成技術(shù)，可提供穩(wěn)定的高速回轉(zhuǎn)運動以及優(yōu)異的回轉(zhuǎn)精度，并兼有在軸向和徑向高負(fù)載高剛度的特點。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | ACT-300 | ACT-340 | |
| 臺面直徑 | 300mm | 340mm | |
高度 | 高度可按照客戶要求設(shè)計 | 高度可按照客戶要求設(shè)計 | |
中孔尺寸 | 無 | 無 | |
最高轉(zhuǎn)速 | 600rpm/min | 600rpm/min | |
負(fù)載 | 軸向 | 3000N | 6000N |
| 徑向 | 1000N | 2000N | |
軸向誤差運動(同步/異步) A | ≤100nm | ||
| 徑向誤差運動(同步/異步) | ≤200nm | ||
傾擺誤差運動 (同步/異步) | <2urad | ||
供氣壓力 | 0.55-0.6Mpa | ||
| 耗氣量 | 25L/min | ||
| 質(zhì)量 | 38kg | 75kg | |
| 轉(zhuǎn)臺剛度 | ≥200N/um | ≥350N/um | |
*所有外形尺寸均可依客戶要求非標(biāo)定制
產(chǎn)品特點
·高精度氣浮軸承
采用超精密靜壓氣浮技術(shù)，輔以雙向靜壓預(yù)載技術(shù)，微孔節(jié)流技術(shù)和特殊均壓方法，具備優(yōu)秀的承載性能和可靠性。
·高性能電控系統(tǒng)
采用高性能力矩電機(jī)，以直驅(qū)方式消除傳動損失和齒槽效應(yīng)并增加控制精度，與高精度控制系統(tǒng)和算法集成從而獲得亞微米甚至納米級別的運動精度。
·高穩(wěn)定貨期
完全自主設(shè)計，采用自有超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力，檢測能力，保證了轉(zhuǎn)臺的穩(wěn)定交貨期。
·適用場景
產(chǎn)品具有軸向徑向高負(fù)載高剛度等特點，特別適合晶圓減薄、光學(xué)檢測以及相關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)的使用。同時，為電機(jī)增加的水冷裝置，可以保證轉(zhuǎn)臺600rpm/min max的轉(zhuǎn)速，連續(xù)工作，轉(zhuǎn)臺溫度變化值0.1°C。
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