產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品描述:
ARST系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用了新型的氣浮技術(shù),高精度控制技術(shù),可提供優(yōu)異的角度定位和穩(wěn)定回轉(zhuǎn)速度。 超薄的高度尺寸、輕量化的設(shè)計(jì)、無摩擦使得ARST系列高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)非常適用于半導(dǎo)體、激光加工等設(shè)備。
技術(shù)參數(shù):
ARST Series | ARST- 100H | ARST- 200H | ARST-300H |
臺(tái)面直徑(Tabletop Diameter) | 100mm | 200mm | 300mm |
高度(Height) | 90mm | 150mm | 165mm |
最高轉(zhuǎn)速(Max Speed) | 600 rpm | ||
連續(xù)扭矩(Continuous torque) | 1.4 N.m | 5.9 N.m | 9.4 N.m |
峰值扭矩(Peak torque) | 1.9 N.m | 7.5 N.m | 12.5 N.m |
定位精度(Accuracy) | ±2 arc sec | ||
重復(fù)定位精度(Repeatability) | ±1 arc sec | ||
軸向負(fù)載能力承載(Axial load) | 40 kg | 200 kg | 400 kg |
軸向誤差運(yùn)動(dòng)(同步)Axial Error Motion (Synchronous) | <150nm | ||
徑向誤差運(yùn)動(dòng)(同步)Radial Error Motion (Synchronous) | <150nm | ||
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)(同步)Tilt Error Motion (Synchronous) | <2.5 urad | <2.5 urad | <2.5 urad |
軸向誤差運(yùn)動(dòng)(異步)Axial Error Motion (Asynchronous) | <100 nm | ||
徑向誤差運(yùn)動(dòng)(異步)Radial Error Motion (Asynchronous | <100 nm | ||
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)(異步)Tilt Error Motion (Asynchronous) | <1 urad | <1urad | <1 urad |
供氣壓力(Operating Pressure) | 0.6Mpa | ||
耗氣量(Air Consumption) | <10 l/min | <20 l/min | <25 l/min |
質(zhì)量(Total Mass) | 4 kg | 14 kg | 30 kg |
注:
精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為60rpm
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000
檢測(cè)儀器為L(zhǎng)ion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀
環(huán)境溫度為20°±0.5°C
外形尺寸和高度均可非標(biāo)定制
產(chǎn)品特色:
?輕量化、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
ARST系列采用了新型的軸承設(shè)計(jì)方式,采用真空預(yù)載的軸承方案,大大的減小了垂向尺寸,便于客戶進(jìn)行空間布局;ARST-200垂向尺寸達(dá)到了極限的60mm;
ARST系列采用了全航空鋁材質(zhì),在保證功能和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的前提下,進(jìn)行了大量的輕量化設(shè)計(jì),大大的降低了整機(jī)重量;由于采用鋁合金轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)動(dòng)慣量極小,便于精度控制和減小電機(jī)生熱;
ARST的緊湊化、輕量化設(shè)計(jì),使得該系列轉(zhuǎn)臺(tái)非常適合作為負(fù)載集成到其他運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上。
?高回轉(zhuǎn)精度
ARST系列轉(zhuǎn)臺(tái)在高精度氣浮軸承的基礎(chǔ)上,使用了高性能力矩電機(jī)作為執(zhí)行器,降低了齒槽效應(yīng);采用了高分率圓光柵作為反饋元件,配合高性能驅(qū)控進(jìn)行控制, 可實(shí)現(xiàn)±1角秒的回轉(zhuǎn)定位精度,低于1角秒的重復(fù)回轉(zhuǎn)精度。
?高穩(wěn)定貨期
完全自主的設(shè)計(jì),自有的超精密加工技術(shù),以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測(cè)能力,使整個(gè)生產(chǎn)過程在公司內(nèi)部形成閉環(huán),保證了ARST系列具有穩(wěn)定的交貨期。
尺寸圖:
ARST-100
ARST-200
ARST-300
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