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太倉Diamond MZ系列

太倉Diamond MZ系列

產(chǎn)品描述:

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設(shè)計特點:

豎直軸納米級的定位精度

高動態(tài)性能

高精度交叉滾珠軸承

零摩擦雙配重氣缸

分辨率2nm,重復(fù)定位精度±100nm,定位精度±250nm

在位穩(wěn)定性<5nm


平臺參數(shù):

型號

單位

單軸Z臺35mm

單軸Z臺60mm

單軸Z臺110mm

單軸Z臺160mm

有效行程

mm

35

60

110

160

定位精度

μm

±0.25

±0.3

±0.4

重復(fù)定位精度

μm

±0.3

±0.4

直線度

μm

±1.5

±2

平面度

μm

±1.5

±2

俯仰

arc sec

±6

橫滾

arc sec

±6

偏擺

arc sec

±5

平臺質(zhì)量

kg

2.5

2.9

3.9

4.6

分辨率

nm

2

最大速度

mm/s

200

最大加速度

g

1

最大負載

kg

14


外形尺寸:


型號

A

B

C

D

單軸Z臺35mm

155

35

90

120

單軸Z臺60mm

180

42

90

140

單軸Z臺110mm

230

78

90

180

單軸Z臺160mm

280

93

90

240

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