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太倉(cāng)Diamond MXY系列

太倉(cāng)Diamond MXY系列

產(chǎn)品描述:

全國(guó)熱線:

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設(shè)計(jì)特點(diǎn):

XY一體式設(shè)計(jì)直驅(qū)平臺(tái)

雙軸四電機(jī)驅(qū)動(dòng),動(dòng)態(tài)性能出色

出色的直線度和平面度

高定位精度和重復(fù)精度

低高度設(shè)計(jì)有效減小阿貝誤差


平臺(tái)參數(shù):

型號(hào)

單位

平面100XY

平面200XY

平面300XY

有效行程

mm

100x100

200x200

300x300

定位精度

μm

±0.4

±0.5

±0.75

重復(fù)定位精度

μm

±0.1

±0.15

±0.25

直線度

μm

±1

±1.5

±2

平面度

μm

±1

±1.5

±2

俯仰

arc sec

±6

±7

±8

橫滾

arc sec

±6

±7

±8

偏擺

arc sec

±3

±4

±5

平臺(tái)質(zhì)量

kg

15~18

35~38

75~83

分辨率

nm

 3

最大速度

m/s

0.5

0.75

1

最大加速度

g

1(空載)

1(空載)

1(空載)

最大負(fù)載

kg

15

20

30


外形尺寸:

型號(hào)

A

B

C

D

E

平面XY100

285

230

75

100

150

平面XY200

402

335

85

200

200

平面XY300

558

470

115

250

425

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