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上海ARST系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)品描述：

ARST系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用了新型的氣浮技術(shù)，高精度控制技術(shù)，可提供優(yōu)異的角度定位和穩(wěn)定回轉(zhuǎn)速度。超薄的高度尺寸、輕量化的設(shè)計(jì)、無(wú)摩擦使得ARST系列高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)非常適用于半導(dǎo)體、激光加工等設(shè)備。

全國(guó)熱線：

4000828890

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技術(shù)參數(shù)：

ARST Series	ARST- 100H	ARST- 200H	ARST-300H
臺(tái)面直徑（Tabletop Diameter）	100mm	200mm	300mm
高度（Height）	90mm	150mm	165mm
最高轉(zhuǎn)速（Max Speed）	600 rpm
連續(xù)扭矩（Continuous torque）	1.4 N.m	5.9 N.m	9.4 N.m
峰值扭矩（Peak torque）	1.9 N.m	7.5 N.m	12.5 N.m
定位精度（Accuracy）	±2 arc sec
重復(fù)定位精度（Repeatability）	±1 arc sec
軸向負(fù)載能力承載（Axial load）	40 kg	200 kg	400 kg
軸向誤差運(yùn)動(dòng)（同步）Axial Error Motion (Synchronous)	＜150nm
徑向誤差運(yùn)動(dòng)（同步）Radial Error Motion (Synchronous)	＜150nm
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)（同步）Tilt Error Motion (Synchronous)	＜2.5 urad	＜2.5 urad	＜2.5 urad
軸向誤差運(yùn)動(dòng)（異步）Axial Error Motion (Asynchronous)	＜100 nm
徑向誤差運(yùn)動(dòng)（異步）Radial Error Motion (Asynchronous	＜100 nm
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)（異步）Tilt Error Motion (Asynchronous)	＜1 urad	＜1urad	＜1 urad
供氣壓力（Operating Pressure）	0.6Mpa
耗氣量（Air Consumption）	＜10 l/min	＜20 l/min	＜25 l/min
質(zhì)量（Total Mass）	4 kg	14 kg	30 kg

注：

精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為60rpm

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016（ISO230-7-2006）以及GB/T17421.22000

檢測(cè)儀器為L(zhǎng)ion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀

環(huán)境溫度為20°±0.5°C

外形尺寸和高度均可非標(biāo)定制

產(chǎn)品特色：

?輕量化、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

ARST系列采用了新型的軸承設(shè)計(jì)方式，采用真空預(yù)載的軸承方案，大大的減小了垂向尺寸，便于客戶進(jìn)行空間布局；ARST-200垂向尺寸達(dá)到了極限的60mm；

ARST系列采用了全航空鋁材質(zhì)，在保證功能和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的前提下，進(jìn)行了大量的輕量化設(shè)計(jì)，大大的降低了整機(jī)重量；由于采用鋁合金轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量極小，便于精度控制和減小電機(jī)生熱；

ARST的緊湊化、輕量化設(shè)計(jì)，使得該系列轉(zhuǎn)臺(tái)非常適合作為負(fù)載集成到其他運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上。

?高回轉(zhuǎn)精度

ARST系列轉(zhuǎn)臺(tái)在高精度氣浮軸承的基礎(chǔ)上，使用了高性能力矩電機(jī)作為執(zhí)行器，降低了齒槽效應(yīng)；采用了高分率圓光柵作為反饋元件，配合高性能驅(qū)控進(jìn)行控制，可實(shí)現(xiàn)±1角秒的回轉(zhuǎn)定位精度，低于1角秒的重復(fù)回轉(zhuǎn)精度。

?高穩(wěn)定貨期

完全自主的設(shè)計(jì)，自有的超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測(cè)能力，使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程在公司內(nèi)部形成閉環(huán)，保證了ARST系列具有穩(wěn)定的交貨期。

尺寸圖：