產(chǎn)品中心
Product Center
上海ART系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
產(chǎn)品描述：
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ART系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用了精密氣浮技術(shù)，高精度控制技術(shù)，可提供優(yōu)異的角度定位和穩(wěn)定回轉(zhuǎn)速度。ART系列高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要面向測(cè)量設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、激光加工設(shè)備等設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)：
ART Series | ART- 200 | ART- 250 | ART-300 | |
臺(tái)面直徑 | 200mm | 250mm | 300mm | |
高度 | 82mm | 94mm | 107mm | |
中孔尺寸 | 15mm | 50mm | 70mm | |
最高轉(zhuǎn)速 | ＞400rpm | |||
定位精度 | ±2 arc sec | |||
| 重復(fù)定位精度 | ±1 arc sec | |||
負(fù)載 | Axial | 100 kg | 150 kg | 200 kg |
Radial | 50 kg | 75 kg | 100 kg | |
Tilt | 10 N.m | 28 N.m | 45 N.m | |
軸向誤差運(yùn)動(dòng)（同步） | ＜100nm | |||
徑向誤差運(yùn)動(dòng)（同步） | ＜150nm | |||
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)（同步） | ＜2 urad | ＜2.5 urad | ＜2.5 urad | |
軸向誤差運(yùn)動(dòng)（異步） | ＜50 nm | |||
徑向誤差運(yùn)動(dòng)（異步） | ＜50 nm | |||
傾擺誤差運(yùn)動(dòng)（異步） | ＜1 urad | ＜1 urad | ＜1 urad | |
供氣壓力 | 0.4-0.6Mpa | |||
耗氣量 | ＜12 l/min | ＜15 l/min | ＜19 l/min | |
重量 | 21 kg | 30 kg | 39 kg | |
注：
1.精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為60rpm
2.檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016（ISO230-7-2006）以及GB/T17421.22000
3.檢測(cè)儀器為L(zhǎng)ion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀
4.環(huán)境溫度為20°±0.5°C
產(chǎn)品特點(diǎn)：
?高精度的氣浮軸承
ART系列采用了高精度空氣靜壓軸承技術(shù)，可獲得高精度的軸承回轉(zhuǎn)精度，徑向誤差運(yùn)動(dòng)值<250nm,軸向誤差運(yùn)動(dòng)值<100nm。
?高重復(fù)定位精度
ART系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用高分率圓光柵作為反饋元件，分辨率可達(dá)0.03arcsec；
基于高分辨率的反饋精度、高回轉(zhuǎn)精度氣浮技術(shù)、以及優(yōu)異的控制算法，可實(shí)現(xiàn)+-1角秒的回轉(zhuǎn)定位精度，低于1角秒的重復(fù)回轉(zhuǎn)精度。
?高性能電控系統(tǒng)
ART系列轉(zhuǎn)臺(tái)使用了高性能力矩電機(jī)，采用直接驅(qū)動(dòng)方式，取消了傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，極大的提高了傳動(dòng)效率；通過(guò)優(yōu)化的控制算法，可達(dá)到0.1arcsec左右的控制跟隨誤差；
?高穩(wěn)定貨期
完全自主的設(shè)計(jì)，自有的超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測(cè)能力，保證了ART系列具有穩(wěn)定的交貨期。
尺寸圖
ART-200
ART-250
ART-300
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