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上海ARS系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

上海ARS系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)品描述:

產(chǎn)品描述:

ARS5000-V轉(zhuǎn)臺(tái)主要面向半導(dǎo)體行業(yè),緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、配置真空吸盤、輕量化的設(shè)計(jì)、高精度的氣浮軸承以及速度穩(wěn)定性,是半導(dǎo)體設(shè)備中回轉(zhuǎn)軸的不二之選。

全國(guó)熱線:

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產(chǎn)品手冊(cè) 在線咨詢

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

ARS5000-V

電機(jī)參數(shù)

Apk(峰值電流)

2.25A

Arms(均值電流)

1.6A

反饋(Feedback)

非接觸式編碼器

精度( Resolution)

1024-65536線/轉(zhuǎn) 可選

額定轉(zhuǎn)速(Rated speed)

5000rpm

最大負(fù)載(Maximum load)

Radial(徑向)

500N

Axial(軸向)

700N

轉(zhuǎn)動(dòng)慣量(Inertia)

0.001kg.m2

同步誤差運(yùn)動(dòng)(Synchronous Error Motion)

Radial(徑向)

<200nm

Axial(軸向)

<200nm

異步誤差運(yùn)動(dòng)(Asynchronous Error Motion)

Radial(徑向)

<100nm

Axial(軸向)

<100nm

 平衡等級(jí)(Balance Grade)

ISO 1940 G0.4

軸承剛度(Bearing Rigidity)

Radial(徑向)

50N/um

Axial(軸向)

80N/um

質(zhì)量(Mass)

9Kg

工作壓力(Operating Pressure)

0.7 Mpa

耗氣量( Air Consumption)

<30 L/min 

配置陶瓷吸盤尺寸

6寸/8寸

材質(zhì)( Material)

軸(Shaft)

鋼(Steel)

外殼(Housing)

鋁(Aluminum)

注:

1.精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為3000rpm

2.檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000

3.檢測(cè)儀器為L(zhǎng)ion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀

4.環(huán)境溫度為20°±0.5°C


產(chǎn)品特點(diǎn):

?高精度的氣浮軸承

ARS5000-V采用了空氣靜壓軸承技術(shù),可獲得高精度的軸承回轉(zhuǎn)精度,徑向及軸向回轉(zhuǎn)精度均低于200nm。

?可配置真空吸盤

ARS5000-V采用了獨(dú)特的真空氣路設(shè)計(jì),無(wú)需使用使用旋轉(zhuǎn)接頭即可為真空吸盤提供負(fù)壓,不影響軸承的回轉(zhuǎn)精度;

可提供真空吸盤集成服務(wù),目前可提供6寸、8寸的各類(陶瓷、鋁合金)真空吸盤,自有的加工能力,吸盤平面度可達(dá)2um以下;并可對(duì)吸盤提供動(dòng)平衡矯正,動(dòng)平衡精度優(yōu)于ISO 1940 G0.4。

?高性能電控系統(tǒng)

ARS5000-V選用了高性能無(wú)框力矩電機(jī),極大的降低了齒槽效應(yīng);最大轉(zhuǎn)速可達(dá)5000rpm,峰值扭矩8N.m,連續(xù)扭矩2.3N.m;

搭配非接觸式編碼器,1024-65536線/轉(zhuǎn) 可選;

采用高性能驅(qū)動(dòng)器,可支持etherCat等多種通信協(xié)議;

?高穩(wěn)定貨期

完全自主的設(shè)計(jì),自有的超精密加工技術(shù),以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測(cè)能力,保證了ARS5000-V具有穩(wěn)定的交貨期。


尺寸圖

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