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昆山Diamond MZ系列

昆山Diamond MZ系列

產(chǎn)品描述：

全國(guó)熱線：

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設(shè)計(jì)特點(diǎn)：

豎直軸納米級(jí)的定位精度

高動(dòng)態(tài)性能

高精度交叉滾珠軸承

零摩擦雙配重氣缸

分辨率2nm，重復(fù)定位精度±100nm，定位精度±250nm

在位穩(wěn)定性＜5nm


平臺(tái)參數(shù)：

型號(hào)

單位

單軸Z臺(tái)35mm

單軸Z臺(tái)60mm

單軸Z臺(tái)110mm

單軸Z臺(tái)160mm

有效行程

mm

35

60

110

160

定位精度

μm

±0.25

±0.3

±0.4

重復(fù)定位精度

μm

±0.3

±0.4

直線度

μm

±1.5

±2

平面度

μm

±1.5

±2

俯仰

arc sec

±6

橫滾

arc sec

±6

偏擺

arc sec

±5

平臺(tái)質(zhì)量

kg

2.5

2.9

3.9

4.6

分辨率

nm

2

最大速度

mm/s

200

最大加速度

g

1

最大負(fù)載

kg

14


外形尺寸：


型號(hào)

A

B

C

D

單軸Z臺(tái)35mm

155

35

90

120

單軸Z臺(tái)60mm

180

42

90

140

單軸Z臺(tái)110mm

230

78

90

180

單軸Z臺(tái)160mm

280

93

90

240

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