產(chǎn)品中心
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昆山ARS系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品描述：
ARS5000-V轉(zhuǎn)臺主要面向半導(dǎo)體行業(yè)，緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、配置真空吸盤、輕量化的設(shè)計(jì)、高精度的氣浮軸承以及速度穩(wěn)定性，是半導(dǎo)體設(shè)備中回轉(zhuǎn)軸的不二之選。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | ARS5000-V | |
電機(jī)參數(shù) | Apk（峰值電流） | 2.25A |
Arms（均值電流） | 1.6A | |
反饋（Feedback） | 非接觸式編碼器 | |
精度（ Resolution） | 1024-65536線/轉(zhuǎn) 可選 | |
額定轉(zhuǎn)速（Rated speed） | 5000rpm | |
最大負(fù)載（Maximum load） | Radial（徑向） | 500N |
Axial（軸向） | 700N | |
轉(zhuǎn)動慣量（Inertia） | 0.001kg.m2 | |
同步誤差運(yùn)動（Synchronous Error Motion） | Radial（徑向） | <200nm |
Axial（軸向） | <200nm | |
異步誤差運(yùn)動（Asynchronous Error Motion） | Radial（徑向） | <100nm |
Axial（軸向） | <100nm | |
平衡等級（Balance Grade） | ISO 1940 G0.4 | |
軸承剛度（Bearing Rigidity） | Radial（徑向） | 50N/um |
Axial（軸向） | 80N/um | |
質(zhì)量（Mass） | 9Kg | |
工作壓力（Operating Pressure） | 0.7 Mpa | |
耗氣量（ Air Consumption） | <30 L/min | |
配置陶瓷吸盤尺寸 | 6寸/8寸 | |
材質(zhì)（ Material） | 軸（Shaft） | 鋼（Steel） |
外殼（Housing） | 鋁（Aluminum） | |
注：
1.精度檢測轉(zhuǎn)速為3000rpm
2.檢測標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016（ISO230-7-2006）以及GB/T17421.22000
3.檢測儀器為Lion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀
4.環(huán)境溫度為20°±0.5°C
產(chǎn)品特點(diǎn)：
?高精度的氣浮軸承
ARS5000-V采用了空氣靜壓軸承技術(shù)，可獲得高精度的軸承回轉(zhuǎn)精度，徑向及軸向回轉(zhuǎn)精度均低于200nm。
?可配置真空吸盤
ARS5000-V采用了獨(dú)特的真空氣路設(shè)計(jì)，無需使用使用旋轉(zhuǎn)接頭即可為真空吸盤提供負(fù)壓，不影響軸承的回轉(zhuǎn)精度；
可提供真空吸盤集成服務(wù)，目前可提供6寸、8寸的各類（陶瓷、鋁合金）真空吸盤，自有的加工能力，吸盤平面度可達(dá)2um以下；并可對吸盤提供動平衡矯正，動平衡精度優(yōu)于ISO 1940 G0.4。
?高性能電控系統(tǒng)
ARS5000-V選用了高性能無框力矩電機(jī)，極大的降低了齒槽效應(yīng)；最大轉(zhuǎn)速可達(dá)5000rpm，峰值扭矩8N.m,連續(xù)扭矩2.3N.m；
搭配非接觸式編碼器，1024-65536線/轉(zhuǎn) 可選；
采用高性能驅(qū)動器，可支持etherCat等多種通信協(xié)議；
?高穩(wěn)定貨期
完全自主的設(shè)計(jì)，自有的超精密加工技術(shù)，以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測能力，保證了ARS5000-V具有穩(wěn)定的交貨期。
尺寸圖
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