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江蘇ARST系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺

江蘇ARST系列精密氣浮轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)品描述:

產(chǎn)品描述:

ARST系列轉(zhuǎn)臺采用了新型的氣浮技術(shù),高精度控制技術(shù),可提供優(yōu)異的角度定位和穩(wěn)定回轉(zhuǎn)速度。 超薄的高度尺寸、輕量化的設(shè)計、無摩擦使得ARST系列高精度氣浮轉(zhuǎn)臺非常適用于半導(dǎo)體、激光加工等設(shè)備。


全國熱線:

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技術(shù)參數(shù):


ARST  Series

ARST- 100H

ARST- 200H

ARST-300H

臺面直徑(Tabletop Diameter)

100mm

200mm

300mm

高度(Height)

90mm

150mm

165mm

最高轉(zhuǎn)速(Max Speed)

600 rpm

連續(xù)扭矩(Continuous torque)

1.4 N.m

5.9 N.m

9.4 N.m

峰值扭矩(Peak torque)

1.9 N.m

7.5 N.m

12.5 N.m

定位精度(Accuracy)

±2 arc sec

重復(fù)定位精度(Repeatability)

±1 arc sec

軸向負(fù)載能力承載(Axial load)

40 kg

200 kg

400 kg

軸向誤差運動(同步)Axial Error Motion (Synchronous)

<150nm

徑向誤差運動(同步)Radial Error Motion (Synchronous)

<150nm

傾擺誤差運動(同步)Tilt Error Motion (Synchronous)

<2.5 urad

<2.5 urad

<2.5 urad

軸向誤差運動(異步)Axial Error Motion (Asynchronous)

<100 nm

徑向誤差運動(異步)Radial Error Motion (Asynchronous

<100 nm

傾擺誤差運動(異步)Tilt Error Motion (Asynchronous)

<1 urad

<1urad

<1 urad

供氣壓力(Operating Pressure)

0.6Mpa

耗氣量(Air Consumption)

<10 l/min

<20 l/min

<25 l/min

質(zhì)量(Total Mass)

4 kg

14 kg

30 kg

注:

精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm

檢測標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000

檢測儀器為Lion主軸分析儀以及雷尼紹自準(zhǔn)直儀

環(huán)境溫度為20°±0.5°C

外形尺寸和高度均可非標(biāo)定制 


產(chǎn)品特色:

?輕量化、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計

ARST系列采用了新型的軸承設(shè)計方式,采用真空預(yù)載的軸承方案,大大的減小了垂向尺寸,便于客戶進(jìn)行空間布局;ARST-200垂向尺寸達(dá)到了極限的60mm;

ARST系列采用了全航空鋁材質(zhì),在保證功能和結(jié)構(gòu)強度的前提下,進(jìn)行了大量的輕量化設(shè)計,大大的降低了整機重量;由于采用鋁合金轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)動慣量極小,便于精度控制和減小電機生熱;

ARST的緊湊化、輕量化設(shè)計,使得該系列轉(zhuǎn)臺非常適合作為負(fù)載集成到其他運動平臺上。

?高回轉(zhuǎn)精度

ARST系列轉(zhuǎn)臺在高精度氣浮軸承的基礎(chǔ)上,使用了高性能力矩電機作為執(zhí)行器,降低了齒槽效應(yīng);采用了高分率圓光柵作為反饋元件,配合高性能驅(qū)控進(jìn)行控制, 可實現(xiàn)±1角秒的回轉(zhuǎn)定位精度,低于1角秒的重復(fù)回轉(zhuǎn)精度。

?高穩(wěn)定貨期

完全自主的設(shè)計,自有的超精密加工技術(shù),以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測能力,使整個生產(chǎn)過程在公司內(nèi)部形成閉環(huán),保證了ARST系列具有穩(wěn)定的交貨期。


尺寸圖:

image.png

                                                                                               ARST-100


image.png

                                                                                                                     ARST-200


image.png

                                                                                                                 ARST-300


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