產(chǎn)品中心
Product Center
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產(chǎn)品描述:
ART系列轉(zhuǎn)臺采用了精密氣浮技術(shù),高精度控制技術(shù),可提供優(yōu)異的角度定位和穩(wěn)定回轉(zhuǎn)速度。ART系列高精度氣浮轉(zhuǎn)臺主要面向測量設備、半導體設備、激光加工設備等設備。
技術(shù)參數(shù):
ART Series | ART- 200 | ART- 250 | ART-300 | |
臺面直徑 | 200mm | 250mm | 300mm | |
高度 | 82mm | 94mm | 107mm | |
中孔尺寸 | 15mm | 50mm | 70mm | |
最高轉(zhuǎn)速 | >400rpm | |||
定位精度 | ±2 arc sec | |||
重復定位精度 | ±1 arc sec | |||
負載 | Axial | 100 kg | 150 kg | 200 kg |
Radial | 50 kg | 75 kg | 100 kg | |
Tilt | 10 N.m | 28 N.m | 45 N.m | |
軸向誤差運動(同步) | <100nm | |||
徑向誤差運動(同步) | <150nm | |||
傾擺誤差運動(同步) | <2 urad | <2.5 urad | <2.5 urad | |
軸向誤差運動(異步) | <50 nm | |||
徑向誤差運動(異步) | <50 nm | |||
傾擺誤差運動(異步) | <1 urad | <1 urad | <1 urad | |
供氣壓力 | 0.4-0.6Mpa | |||
耗氣量 | <12 l/min | <15 l/min | <19 l/min | |
重量 | 21 kg | 30 kg | 39 kg |
注:
1.精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm
2.檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000
3.檢測儀器為Lion主軸分析儀以及雷尼紹自準直儀
4.環(huán)境溫度為20°±0.5°C
產(chǎn)品特點:
?高精度的氣浮軸承
ART系列采用了高精度空氣靜壓軸承技術(shù),可獲得高精度的軸承回轉(zhuǎn)精度,徑向誤差運動值<250nm,軸向誤差運動值<100nm。
?高重復定位精度
ART系列轉(zhuǎn)臺采用高分率圓光柵作為反饋元件,分辨率可達0.03arcsec;
基于高分辨率的反饋精度、高回轉(zhuǎn)精度氣浮技術(shù)、以及優(yōu)異的控制算法,可實現(xiàn)+-1角秒的回轉(zhuǎn)定位精度,低于1角秒的重復回轉(zhuǎn)精度。
?高性能電控系統(tǒng)
ART系列轉(zhuǎn)臺使用了高性能力矩電機,采用直接驅(qū)動方式,取消了傳動機構(gòu),極大的提高了傳動效率;通過優(yōu)化的控制算法,可達到0.1arcsec左右的控制跟隨誤差;
?高穩(wěn)定貨期
完全自主的設計,自有的超精密加工技術(shù),以及完全可控的生產(chǎn)裝配能力、檢測能力,保證了ART系列具有穩(wěn)定的交貨期。
尺寸圖
ART-200
ART-250
ART-300
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