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江蘇ARS系列精密氣浮轉臺

江蘇ARS系列精密氣浮轉臺

產品描述:

產品描述:

ARS5000-V轉臺主要面向半導體行業(yè),緊湊的結構設計、配置真空吸盤、輕量化的設計、高精度的氣浮軸承以及速度穩(wěn)定性,是半導體設備中回轉軸的不二之選。

全國熱線:

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技術參數(shù):

型號

ARS5000-V

電機參數(shù)

Apk(峰值電流)

2.25A

Arms(均值電流)

1.6A

反饋(Feedback)

非接觸式編碼器

精度( Resolution)

1024-65536線/轉 可選

額定轉速(Rated speed)

5000rpm

最大負載(Maximum load)

Radial(徑向)

500N

Axial(軸向)

700N

轉動慣量(Inertia)

0.001kg.m2

同步誤差運動(Synchronous Error Motion)

Radial(徑向)

<200nm

Axial(軸向)

<200nm

異步誤差運動(Asynchronous Error Motion)

Radial(徑向)

<100nm

Axial(軸向)

<100nm

 平衡等級(Balance Grade)

ISO 1940 G0.4

軸承剛度(Bearing Rigidity)

Radial(徑向)

50N/um

Axial(軸向)

80N/um

質量(Mass)

9Kg

工作壓力(Operating Pressure)

0.7 Mpa

耗氣量( Air Consumption)

<30 L/min 

配置陶瓷吸盤尺寸

6寸/8寸

材質( Material)

軸(Shaft)

鋼(Steel)

外殼(Housing)

鋁(Aluminum)

注:

1.精度檢測轉速為3000rpm

2.檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000

3.檢測儀器為Lion主軸分析儀以及雷尼紹自準直儀

4.環(huán)境溫度為20°±0.5°C


產品特點:

?高精度的氣浮軸承

ARS5000-V采用了空氣靜壓軸承技術,可獲得高精度的軸承回轉精度,徑向及軸向回轉精度均低于200nm。

?可配置真空吸盤

ARS5000-V采用了獨特的真空氣路設計,無需使用使用旋轉接頭即可為真空吸盤提供負壓,不影響軸承的回轉精度;

可提供真空吸盤集成服務,目前可提供6寸、8寸的各類(陶瓷、鋁合金)真空吸盤,自有的加工能力,吸盤平面度可達2um以下;并可對吸盤提供動平衡矯正,動平衡精度優(yōu)于ISO 1940 G0.4。

?高性能電控系統(tǒng)

ARS5000-V選用了高性能無框力矩電機,極大的降低了齒槽效應;最大轉速可達5000rpm,峰值扭矩8N.m,連續(xù)扭矩2.3N.m;

搭配非接觸式編碼器,1024-65536線/轉 可選;

采用高性能驅動器,可支持etherCat等多種通信協(xié)議;

?高穩(wěn)定貨期

完全自主的設計,自有的超精密加工技術,以及完全可控的生產裝配能力、檢測能力,保證了ARS5000-V具有穩(wěn)定的交貨期。


尺寸圖

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